激光干涉儀是以光波為載體，以光波波長(cháng)為單位的一種計量測試方法，是*的高精度、高靈敏度的檢測手段，在制造領(lǐng)域應用廣泛。
激光干涉儀產(chǎn)品具有測量精度高、測量速度快、最高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn)。通過(guò)與不同的光學(xué)組件結合，可以實(shí)現對直線(xiàn)度、垂直度、角度、平面度、平行度等多種幾何精度的測量。在相關(guān)軟件的配合下，還可以對數控機床進(jìn)行動(dòng)態(tài)性能檢測，可以進(jìn)行機床振動(dòng)測試與分析，滾珠絲桿的動(dòng)態(tài)特性分析，驅動(dòng)系統的響應特性分析，導軌的動(dòng)態(tài)特性分析等，具有較高的精度和效率，為機床誤差修正提供依據。
激光器發(fā)射單一頻率光束射入線(xiàn)性干涉鏡，然后分成兩道光束，一道光束（參考光束）射向連接分光鏡的反射鏡，而第二道透射光束（測量光束）則通過(guò)分光鏡射入第二個(gè)反射鏡，這兩道光束再反射回到分光鏡，重新匯聚之后返回激光器，其中會(huì )有一個(gè)探測器監控兩道光束之間的干涉。若光程差沒(méi)有變化時(shí)，探測器會(huì )在相長(cháng)性和相消性干涉的兩極之間找到穩定的信號。
若光程差有變化時(shí)，探測器會(huì )在每一次光程變化時(shí)，在相長(cháng)性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號，這些變化會(huì )被計算并用來(lái)測量?jì)蓚€(gè)光程之間的差異變化。
激光干涉儀是檢定數控機床、坐標測量機位置精度的理想工具，可按照規定標準處理測量數據并輸出誤差曲線(xiàn)，為數控機床的誤差修正提供可靠依據，現場(chǎng)使用尤為方便。
